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Serie su8600 de microscopía electrónica de barrido de emisiones de campo de alta resolución
Con el desarrollo de la tecnología rápida de adquisición y procesamiento de datos, el microscopio electrónico ha entrado en una era en la que no solo
Detalles del producto
Serie su8600 de microscopía electrónica de barrido de emisiones de campo de alta resolución
Con el desarrollo de la tecnología rápida de adquisición y procesamiento de datos, el microscopio electrónico ha entrado en una era en la que no solo se presta atención a la calidad de los datos, sino también a su proceso de adquisición. La serie su8600 se adhiere a la tecnología de imagen de campo frío de alta calidad, análisis de haz grande y funcionamiento estable a largo plazo de la serie Regulus 8200, y también mejora en gran medida la capacidad de adquisición de datos de alto rendimiento y automático.
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- La foto del dispositivo contiene opciones.
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Características
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Especificaciones
Características
Características
Imágenes de ultra alta resolución
La fuente electrónica de alto brillo de Hitachi garantiza la obtención de imágenes de alta resolución incluso a un voltaje de aterrizaje ultra bajo.
Se observaron ejemplos de zeolitas de tipo Rho a una tensión de 0,8 kv. La imagen de la izquierda muestra la morfología general de las partículas, la imagen de la derecha muestra una imagen ampliada, y la estructura escalonada sutil de la superficie de las partículas es claramente visible. La observación de baja tensión es más eficaz para reducir el daño del haz de electrones y obtener información sobre la forma de la superficie.
Suministro de muestras: Sr. kazuda kamura, Instituto de tecnología industrial integral de Japón
Imagen de retrodispersión de baja aceleración de alto contraste
Observación de sección transversal 3D nand;
En condiciones de baja tensión de aceleración, la señal electrónica de retrodispersión puede mostrar claramente la diferencia de contraste entre la capa de óxido de silicio y la capa de nitruro de silicio.
Observación de sección transversal 3D Nand (tensión de aceleración: 1,5kv)
Imagen BSE rápida: nuevo detector de electrones de retrodispersión de centelleo (ocd)*
Debido al uso del nuevo detector ocd, incluso si el tiempo de escaneo es inferior a 1 segundo, todavía se pueden observar imágenes claras de la estructura profunda de fin - fets.
Observación de la estructura interna del SRAM de proceso de 5 nanómetros (tensión de aceleración: 30 kv, tiempo de escaneo inferior a 1 segundo)
Funciones avanzadas de automatización
Em Flow creator permite a los clientes Crear flujos de trabajo automatizados para la adquisición continua de imágenes. Em Flow creator define diferentes funciones de Sem como módulos gráficos, como establecer la ampliación, mover la posición de la muestra, ajustar la distancia focal y el contraste de luz y oscuridad, etc. Los usuarios pueden arrastrar con un simple ratón para formar estos módulos en un programa de trabajo en orden lógico. Después de la depuración y confirmación, el programa puede obtener automáticamente datos de imagen de alta calidad y buena reproducibilidad en cada llamada.
Interfaz de usuario flexible
Soporte nativo de doble pantalla, proporcionando un espacio de operación flexible y eficiente. Los seis canales se muestran y guardan al mismo tiempo para lograr una observación y adquisición rápida de múltiples señales.
Las señales de 1,2,4 o 6 canales se pueden mostrar simultáneamente en la misma pantalla, y el contenido opcional incluye los detectores de Sem y la Cámara de la Sala de muestras y la Cámara de navegación. Se puede ampliar el espacio de trabajo utilizando dos pantallas, con una interfaz de usuario personalizable para mejorar la eficiencia del trabajo.
Especificaciones
| Modelo | Serie su8600 | |
|---|---|---|
| Sistema óptico electrónico | Resolución de imagen electrónica secundaria | 0,6 nm@15 kV |
| 0,7 nm@1 kV * | ||
| Ampliación | 20 to 2,000,000 x | |
| Pistola electrónica | El campo frío emite fuentes electrónicas, soporta la función de parpadeo flexible e incluye un sistema de cocción anódica. | |
| Tensión de aceleración | 0.5 to 30 kV | |
| Tensión de aterrizaje | 0.01 to 20 kV | |
| Detector | (parte es opcional) | Detector superior (ud) |
| Filtro de energía Ud exb, que contiene la función mixta de señal se / BSE | ||
| Detector inferior (ld) | ||
| Detector superior (td) | ||
| Filtro de energía TD | ||
| Detector de electrones de retrodispersión dentro de la lente (imd) | ||
| Detector electrónico de retrodispersión Semiconductor (pd - bsed) | ||
| Nuevo detector de electrones de retrodispersión de parpadeo (ocd) | ||
| Detector de fluorescencia catódica (cld) | ||
| Detector de transmisión de escaneo (stem detector) | ||
| Anexo | (parte es opcional) | Cámara de navegación, Cámara de Cámara de muestra, espectrómetro de energía de rayos X (eds), detector de difracción electrónica de dispersión trasera (ebsd) |
| Software | (parte es opcional) | Em Flow creater, HD capture (hasta 40.960 × 30.720 píxeles) |
| Mesa de muestras | Eje motriz del motor | Motor de 5 ejes (x / y / R / z / t) |
| Eje motriz del motor | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70Grados | ||
| R：360Grados | ||
| Sala de muestras | Tamaño de la muestra | Diámetro máximo: 150 mm |
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- En modo de desaceleración
Clasificación de productos relacionados
- Sistema de haz de iones de enfoque (fib / FIB - sem)
- Dispositivo de preprocesamiento de muestras TEM / SEM
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