• Alta precisión ± 1,0% de punto fijo
  La linealización del controlador de flujo de masa se compensa con una curva aproximada polinómica y se logra una alta precisión dentro del rango de control de flujo actual. Para mejorar la precisión real del gas, los datos de calibración de los diferentes gases de proceso son medidos por el sistema de medición de gas estándar de horiba stec.
• Respuesta de alta velocidad
  El montaje del "sistema EIP variable" permite una respuesta de 1 segundo entre dos puntos de configuración arbitrarios. La EIP variable cambia constantemente de acuerdo con la configuración del punto de flujo. Optimizar el coeficiente de EIP cuando el flujo de rango completo y el gas cambian.
• Solución multigas / multirango
  El software de configuración puede cambiar las especificaciones de manera rápida y conveniente. Una característica importante es que el controlador de flujo de masa se puede cambiar sin quitar el panel de control de gas o la tubería. Reduce el número de controladores de flujo de masa de repuesto necesarios y ahorra tiempo y costos.

El controlador de flujo de masa sec - z500x es adecuado para diversas aplicaciones y fabricación de semiconductores.