El algoritmo de control logra un control de desviación estable controlando la relación de flujo y, al mismo tiempo, utiliza la tecnología de optimización de control horiba Stec para controlar la presión de flujo superior FS - 3000. Además, incluso si la relación de desviación cambia, el algoritmo de control puede lograr una respuesta de alta velocidad a la desviación.

• Mejorar la escalabilidad y el rendimiento de mantenimiento. El FS - 3000 puede separar hasta 15 canales a través del procesamiento de señales de alta velocidad. Si hay una avería en el fc, solo hay que reemplazar el esclavo de la avería.

• La especificación FS - 3000 necesaria para una respuesta flexible admite una variedad de gases, incluidos los gases mixtos. Además, el FS - 3000 también admite interfaces de usuario como RS - 485 y devicenet.